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7.2 砷化镓薄膜材料的制备方法
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      [24] 5.2 微晶硅薄膜材料沉积技术
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      [25] 5.2 微晶硅薄膜材料沉积技术
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      [34] 7.2 砷化镓薄膜材料的制备方法
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