课程介绍：薄膜材料凭借其微小的体积和优异的性能，在建筑、水利、环境、机械、航空航天、信息、能源、生物医学、电子等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程面向所有理工科高年级本科生以及研究生，课程内容包括真空技术简介、物理气相沉积、化学气相沉积、化学溶液法镀膜、薄膜的生长以及薄膜结构、薄膜性能测试技术和表征方法。课程的开设旨在引导学生了解电子薄膜技术的发展概况，理解真空技术的相关知识，掌握薄膜沉积的技术体系以及薄膜制备的多种技术方法，能够在薄膜沉积中综合考虑工艺参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构以及缺陷的影响，并初步掌握薄膜结构表征的方法。为进一步开展薄膜材料的制备和应用研究奠定基础。